奕斯伟“边缘研腐设备的控制方法和边缘研磨设留”专利公布

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天眼查数据显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司公布了“边缘研磨设备的控制方法和边缘研磨设备”专利，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为cn119526254a。

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该专利提出了一种边缘研磨设备的控制方法及设备，其方法包括：在硅片边缘研磨过程中，监测至少一个磨轮的位置是否发生偏移；如果一个或多个磨轮的位置偏移且偏移持续时间超过设定时长，则触发报警操作。该专利能够在硅片边缘研磨过程中有效监测磨轮的精确度，及时识别磨轮位置的异常偏移，减少由于磨轮精度问题导致的边缘形态异常，降低磨轮精度异常引起的主轴异常操作，减少设备磨损和经济损失，有效阻止因Chipping和边缘参数异常而产生的产品，提升硅片边缘工艺参数的稳定性。

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 2025-04-27