中微公司发布六款新半导体设备，涉蚀刻、原子层沉积、外延工艺

---

9 月 5 日消息，在 cseac 2025 第十三届半导体设备与核心部件及材料展上，中微半导体设备（上海）股份有限公司推出了六款全新半导体设备，涵盖刻蚀、原子层沉积（ald）以及外延工艺等多个关键技术领域。

此次发布的刻蚀设备新品之一是新一代极高深宽比等离子体刻蚀系统 —— Primo UD-RIE，属于CCP电容性高能等离子体刻蚀机。该设备在成熟的 Primo HD-RIE 架构基础上进行全面升级，配备六个单反应台反应腔，并搭载更低频率、更高功率的射频偏压电源，显著提升离子轰击能量，可有效应对极高深宽比结构在精度与产能方面的严苛挑战。

此外，Primo UD-RIE 还集成了多项自主研发的创新技术，包括动态边缘阻抗调节系统、上电极多区温控系统、支持温度切换的多区控温静电吸盘，以及主动控温的边缘组件，全面优化晶圆边缘区域的刻蚀均匀性与良率表现。

▲ Primo UD-RIE

另一款刻蚀设备为 Primo Menova，这是一款面向12英寸晶圆的ICP单腔刻蚀系统，专注于金属刻蚀应用，尤其适用于铝线和铝块的加工，在功率半导体、存储器件及先进逻辑芯片制造中具备广泛适用性。

▲ Primo Menova

在原子层沉积（ALD）领域，中微公司发布了 Preforma Uniflash 金属栅系列设备，提供 TiN、TiAl 和 TaN 三种不同工艺版本，专为先进逻辑与存储器件中的金属栅集成需求而设计。

小云雀

剪映出品的AI视频和图片创作助手

1949 查看详情

该系列产品采用中微独创的双反应台架构，整机最多可配置五个双反应台反应腔，大幅增强工艺灵活性与生产吞吐量，达到行业领先的生产效率水平。

▲ Preforma Uniflash 金属栅系列

在外延（EPI）工艺方面，中微推出了全球首台双腔减压外延设备 —— PRIMIO Epita RP。该设备拥有业界最小的反应腔体积，同时支持最多6个反应腔的灵活配置，不仅减少了化学品和耗材的使用量，还显著降低了制造成本并提升了产能效率。

▲ PRIMIO Epita RP

以上就是中微公司发布六款新半导体设备，涉蚀刻、原子层沉积、外延工艺的详细内容，更多请关注其它相关文章！

# 这是  # 制作网络营销推广作品  # 咸宁网站建设小程序  # 沧州公司网站建设费用多少  # 罗定网站建设方案  # 奉贤区企业网站建设推广  # 滁州海外营销推广公司  # 兴义seo排名  # 承德seo公司便捷火星下拉  # seo偏词怎么使用  # 常州营销推广咨询问价  # 2025  # 但未  # 赴美  # 中国  # 极高  # 香港  # 重庆  # 边缘  # 独角兽  # 最多 

相关栏目： 【 Google疑问12 】 【 Facebook疑问10 】 【 优化推广96088 】 【 技术知识133117 】 【 IDC资讯59369 】 【 网络运营7196 】 【 IT资讯61894 】

相关推荐： 人工智能框架生态峰会即将召开，聚焦AI大模型技术与科学智能探索！  引领AI变革，九章云极DataCanvas公司重磅发布AIFS+DataPilot  掌阅科技入选北京市通用人工智能产业创新伙伴计划第二批成员名单  昌吉市利用无人机实现全天候河道动态巡检  OpenAI 已全面开放 GPT-3.5 Turbo、DALL-E 及 Whisper API  稿见AI助手：提升写作效率与质量的必备工具  2025WRC世界机器人大赛锦标赛（烟台）收官！斯坦星球勇夺VEX赛项冠亚军！  世界人工智能大会上，科大讯飞宣布与华为联手  小艺主导智慧交互升级，借助AI大模型增强能力  Bing 聊天机器人现支持在桌面端用语音提问  AIGC浪潮下，联想集团再加码计算与人工智能  麦肯锡：到 2045 年左右，将有 50% 工作被 AI 接管  自研4D激光雷达L1 + GPT大语言模型 宇树Unitree Go2四足机器人有啥黑科技？  昇腾AI大模型训推一体化解决方案将在WAIC发布  日媒关注中国推进鸟类识别 AI 普及，除监测保护外还可预防传染性疾病  腾讯自主研发机器狗 Max 升级，可“奔跑跳跃”完成避障动作  联想首发AI PC于今年秋季，英特尔CEO确认AI PC时代来临  国内首款大尺寸仿鸵双足机器人“大圣”亮相，穿戴红色战袍  首个算网生态体！中国移动元宇宙产业联盟正式成立  Unity 推出面向开发者的 AI 软件市场 AI Hub，股价飙涨 15%  美军AI无人机“误杀”操作员，人工智能要在军事领域毁灭人类？  水路两栖艇、消防灭火机器人……这个展览“黑科技”抢眼  苹果CEO库克：持续研究生成式人工智能技术  6月14日《星空下的对话》 张朝阳陆川将畅聊人生、电影、心理学与AI  苹果在韩举办首届中小企业智能制造论坛，加速推动工业4.0发展  苹果AR头显商标与华为撞车，在中国或改名  Unity 内测 Safe Voice 服务，利用 AI 自动识别玩家不当聊天内容  B站内测 AI 搜索功能，输入“？”即可体验  走进首家“元宇宙”未来工厂，卡奥斯探知工业之旅出发！  微软推出人工智能模型 CoDi，可互动和生成多模态内容  苹果AI战略与微软谷歌大相径庭，到底是领先还是落后？  学而思网校推出首个基于自研大模型的《人工智能第一课》  苹果头显降临，AI虚拟人的救星还是流星？  美图发布国内首个“懂美学的”AI视觉大模型MiracleVision  业内领先 四川大学华西第四医院甲状腺乳腺外科成功进入手术机器人时代  提高开发效率：AmazonCodeWhisperer与Amazon Glue的集成和生成式AI的应用  谷歌在人工智能领域没有“护城河”？  BLIP-2、InstructBLIP稳居前三！十二大模型，十六份榜单，全面测评「多模态大语言模型」  旷视入选北京市通用人工智能产业创新伙伴计划  微幼科技晨检机器人：幼儿园健康保障的新伙伴  放弃自动驾驶，也是一种和解  人工智能创作的“婴儿版超级英雄”，你觉得哪个最可爱  “世界上最像人的机器人”接入 Stable Diffusion ，现场完成作画  Stability AI 推出文生图模型 SDXL0.9，GPU要求下探至消费级水平  Moka AI产品后观察：HR SaaS迈进AGI时代  小米发布CyberDog2 - 他们的第二代仿生四足机器人展示  了解 AGI：智能的未来？  首届全国体育人工智能大会在首都体育学院召开  马斯克：将来机器人比人类多！特斯拉机器人亮相人工智能大会  华为盘古AI模型实现秒级全球气象预报时间缩短 

 2025-09-05